用面阵CCD高精度测量微光光场均匀性

Measuring uniformity of optical field of dim light by using area CCD high accurately

利用高分辨率面阵CCD ,提出一种新的测量微光光场均匀性的方法 ,同时对影响系统精度的因素进行了分析 ,并通过计算机处理软件给出矫正补偿措施 ,使面阵CCD高精度测量技术成功地用于实践。