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工作平晶平面度测量不确定度评定被引量：1

Evaluation of measuring uncertainty on the working plane optical flat

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摘要本文对JJG2 8-2 0 0 0《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶 (D3 0mm～ 10 0mm)平面度的方法进行了分析、评定 ,得出了平面度的测量结果不确定度。

作者刘丽娟

机构地区湖南省计量测试技术研究所

出处《中国测试技术》 2003年第2期30-32,共3页 CHINA MEASUREMENT & TESTING TECHNOLOGY

关键词工作平晶平面度等厚干涉法不确定度行业标准评定

分类号 TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]

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中国测试技术

2003年第2期

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