步进光刻机(DSW)曝光技术研究
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2刘晓群.更小、更快、更廉价 芯片技术永无止境[J].新电脑,2000,24(12):176-179.
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4管文军.GCA8500投影步进光刻机X—Y平台伺服系统[J].LSI制造与测试,1993,14(2):17-21.
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5周得时.为研制我国自己的分步光刻机(DSW)而拼搏[J].电子工业专用设备,1991,20(3):30-38. 被引量:1
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9周虎明.步进光刻机中的成像线宽控制[J].电子工业专用设备,2001,30(1):27-33. 被引量:2
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