摘要
英国 BOC Edwards(即 Edwards High Vacuum Intemational)有超过80年设计和制造真空泵经验。我们致力为客户提供完全满意的产品,销售,售后服务和技术支援。BOC Edwards为半导体产业供应广泛的产品和服务,包括:超高纯气体和钢瓶气体;先进的现场气体生产和输送,管道安装服务,气瓶柜,真空干泵,涡轮分子泵,废气处理,冷却装置,检漏仪,化学品机械抛光(CMP)研磨液供应系统及化学管理系统;还有售后服务包括现场化学,气体和真空管理服务。
出处
《中国集成电路》
2003年第50期38-38,53,共2页
China lntegrated Circuit