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适应产业需求 同步产业发展——访BOC Edwards(上海)有限公司总经理Robert G..E Winter先生

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摘要 英国 BOC Edwards(即 Edwards High Vacuum Intemational)有超过80年设计和制造真空泵经验。我们致力为客户提供完全满意的产品,销售,售后服务和技术支援。BOC Edwards为半导体产业供应广泛的产品和服务,包括:超高纯气体和钢瓶气体;先进的现场气体生产和输送,管道安装服务,气瓶柜,真空干泵,涡轮分子泵,废气处理,冷却装置,检漏仪,化学品机械抛光(CMP)研磨液供应系统及化学管理系统;还有售后服务包括现场化学,气体和真空管理服务。
作者 罗飚
出处 《中国集成电路》 2003年第50期38-38,53,共2页 China lntegrated Circuit

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