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支持晶圆代工厂光刻设备之经验
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摘要
晶圆代工(Wafer Foundry)模式从最早期的填充过剩产能(Capacity Fill)到纯粹代工(PurePlay)而至今日的完全代工(AllPlay,指为用户提供全部解决方案)的时代,历经数次产品替换和产能运转,而今日成为一门颇为复杂的生产技术,也是有很高利润的投资。但是今天的代工市场上充满了许许多多的代工者。
作者
程天风
机构地区
ASML CHlNA
出处
《集成电路应用》
2003年第7期59-61,共3页
Application of IC
关键词
晶圆代工
光刻设备
阿斯麦光刻设备公司
易用性
科技需求
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
2003年 第7期
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