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划片机双真空吸附功能的实现
被引量：
2
Realization of Incision Machine's Double-vacuum Adsorption
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摘要
介绍了真空吸附的工作原理 ,阐述了划片机双真空吸附功能的实现过程 ,描述了气路设计方案、真空发生器的选取及具体执行气路的结构设计 ,可为仪器设计人员提供参考。
作者
冯晓国
机构地区
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《液压与气动》
北大核心
2003年第7期24-25,共2页
Chinese Hydraulics & Pneumatics
关键词
集成电路
封装
划片机
真空吸附
真空发生器
气路结构
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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2003年 第7期
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