摘要
Fe—10％Ni—0．2％M(M为Ti和Al)及Fe—10％Ni—0．025％Al—0．1％Ti—0．02％N合金，经化学或电解提取，用单粒子光读法超定了过滤薄膜上氧化或氮化物夹杂的空间粒度分布。用单粒子光读法超定的粒度分布，与用带电子探针微区分析的扫描电镜，三维观测过滤器薄膜上的粒子得到的结果进行了比较。由单粒子光读法和带电子探针微区分析的扫描电镜超出的粒子体积分数和化学分析计算出的体积分数进行了比较。发现，尤其是在检阅dv＞5μm的粒子粒度分布时，单粒子光读法要比带电子探针微区分析的扫描电镜观超法优越。
