摘要
采用有限积分理论的算法,模拟了具有轴对称的微波等离子体反应腔中电磁场的分布情况,计算出给定等离子体的空间分布时微波反应腔中电磁场的稳定分布状态.并依据实验中的一些可变参数,寻找影响反应腔中电磁场分布的参数,为设计利用MPCVD技术沉淀金刚石薄膜的反应腔提供参考依据.
Based on the finite integration theory (FIT),electromagnetic field for a given spatial distribution of the plasma in rotational symmetric microwave reactor has been simulated. Considering some adjusted parameters in the experiments, the parameters effected the location of electromagnetic field have been discussed and the design of the microwave plasma reactor for diamond CVD may be predicated.
出处
《武汉理工大学学报（交通科学与工程版）》
北大核心
2003年第4期566-568,共3页
Journal of Wuhan University of Technology（Transportation Science & Engineering）
基金
湖北省教育厅重点科研项目资助 (批准号 :2 0 0 3 A0 0 3 )
关键词
微波反应腔
电磁场
数值模拟
microwave reactor
electromagnetic field
numerical simulation
