大有发展的微型机械
出处
《黑龙江科技信息》
2003年第8期74-74,共1页
Heilongjiang Science and Technology Information
-
1梅田章,王永山.弹性波应用测量与微型机械[J].日本的科学与技术,1992(5):33-36.
-
2周毓平,高晓平.国外微型机械述评[J].光机情报,1991(4):1-9.
-
3干东英.微电子机械系统研究的新动向[J].机械设计与研究,1997,13(1):46-47. 被引量：4
-
4滇川.工程微型机械[J].光学精密机械,1996(3):19-21.
-
5韩志彬,曾斌.微型机械的研究进展及发展前景[J].电子制作,2013,21(24):242-242.
-
6张培玉.微光机电系统技术的研究与应用（上）[J].电子产品世界,2001,8(8):21-23.
-
7徐世钰.微型机械设计的一些问题[J].机械设计与研究,1997,13(1):17-17. 被引量：2
-
8茅盘松,王修伦,吴绍夫.硅微振动陀螺的理论分析[J].传感器技术,1995,14(6):6-10. 被引量：3
-
9戴亚春,周建忠,王匀,马欣涛.MEMS的微细加工技术[J].机床与液压,2006,34(5):15-19. 被引量：6
-
10潘洋宇,李迎,王拴虎.微型机械技术和应用前景[J].兵工自动化,2003,22(5):12-14. 被引量：8
;
