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新型电子束曝光机

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摘要据《新德意志报》1988年4月5日报道,耶拿蔡司联合企业计划于1988年秋季开始批量生产一种最新型号的电子束曝光机ZBA21W。这是蔡司公司的最新成果。

作者张庆彬

出处《全球科技经济瞭望》 1988年第6期36-,共1页 Global Science，Technology and Economy Outlook

关键词新德意志报蔡司公司耶拿批量生产企业计划张庆彬仪表控制

分类号 F27 [经济管理—企业管理]

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全球科技经济瞭望

1988年第6期

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