离子探针深度分析中的质量干扰离子生成特性研究

质量干扰是离子探针分析中经常出现的一种物理化学现象。在用离子探针测量Si中注入杂质的浓度分布时常遇到质荷比[m/e]与待测离子接近的质量干扰离子的质量干扰。