用双群模型研究低能3He、4He离子在固体表面的反射

一、引言 讨论低能轻离子在固体表面的反射现象,对于聚变研究、表面分析及离子束注入技术等有重要的意义。能量低于20keV时,入射轻离子与靶原子的多次碰撞过程变得重要。以前计算这一能区内轻离子的反射系数主要有两种方法:一是基于标准输运理论的近似计算,如RADELI程序;二是用Monte-Carlo方法进行模拟。