开元空分集团研制的高纯氧设备投入运行

河南开元空分集团有限公司为国内一气体公司提供了一套直接用工业液氧(含氧量为99.6%),经过低温精馏的方法制备电子工业级技术标准的高纯液态氧的装置,该工艺是国内首创,采用国际领先技术。高纯氧的设计指标为:氧纯度≥99.9998%。其他杂质含量为:N2≤0.5ppm; CH4≤0.1ppm;H2O≤0.1ppm;Ar≤0.5ppm。