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氨气中水份脱除工艺研究
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摘要
高纯氨是电子工业中氮化膜的成膜气体,已经在半导体,液晶面板,氮化镓系LED生产中得到广泛应用;在多晶硅太阳能电池领域的高纯氨的应用也在不断增加。针对NH3中的水份脱除工艺研究,对于气态氨在脱水过程中出现的各种复杂问题解决,确保设备长期稳定运行,纯氨含水量小于1PPm以下。
作者
颜庭勇
张文波
尹泉生
机构地区
苏州市创新净化有限公司
出处
《气体分离》
2009年第5期27-29,共3页
Gas Separation
关键词
高纯氨
脱水
问题解决
稳定运行
分类号
TQ113.266 [化学工程—无机化工]
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气体分离
2009年 第5期
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