氨气中水份脱除工艺研究

高纯氨是电子工业中氮化膜的成膜气体,已经在半导体,液晶面板,氮化镓系LED生产中得到广泛应用;在多晶硅太阳能电池领域的高纯氨的应用也在不断增加。针对NH3中的水份脱除工艺研究,对于气态氨在脱水过程中出现的各种复杂问题解决,确保设备长期稳定运行,纯氨含水量小于1PPm以下。