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氢气安全生产在多晶硅行业的重要性
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1
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摘要
本文通过介绍氢气生产在多晶硅生产过程中的实际应用,强调了氢气安全生产对多晶硅的重要性,为多晶硅行业生产提供了有价值的参考。
作者
蔡晓玲
出处
《气体分离》
2010年第1期43-44,共2页
Gas Separation
关键词
多晶硅
氢气
三氯氢硅
四氯化硅
氯硅烷
还原尾气
安全生产
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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