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氢气纯化回收系统在多晶硅行业应用
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摘要
介绍氢气回收纯化系统在多晶硅行业方面的应用,以及突出氢气回收纯化系统的工作原理,工艺特点,多晶硅行业产能分析及其意义。
作者
颜庭勇
张文波
尹泉生
张敬成
机构地区
苏州市创新净化有限公司
出处
《气体分离》
2010年第3期34-36,共3页
Gas Separation
关键词
氢气回收
应用
原理
工艺特点
产能分析
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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