摘要
2017年,液化空气与中国、日本及新加坡的重要电子业制造商签订了多项新长期合同,将在这些国家投资逾1.5亿欧元,为客户的新工厂提供超纯载气,助其制造消费类电子产品和移动设备所需的集成电路、内存、成像传感器和平板显示器。超纯氮气等载气对于高科技半导体行业至关重要。这些气体直接应用于芯片与显示器制造工艺,并用于营造超净的气体环境以保护制造工具。液化空气将投资世界一流的新型高效超高纯现场制氮系统,累计总产量为170。
出处
《气体分离》
2018年第1期85-85,共1页
Gas Separation