期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究
被引量:
1
原文传递
导出
摘要
迄今,在金刚石的热力学亚稳相气相合成金刚石薄膜已有许多成熟的方法,如热丝法、微波等离子体法、射频等离子体法、直流电弧等离子体法、空心阴极法、以及氧炔焰法等。作为原料气体的碳氢化合物一般选用甲烷。
作者
张建平
翁羽翔
袁定朴
徐积仁
机构地区
中国科学院物理研究所
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第18期1650-1652,共3页
Chinese Science Bulletin
关键词
金刚石
薄膜
等离子体
直流电弧
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
1
二级引证文献
1
引证文献
1
1
张建平,翁羽翔,袁定朴,徐积仁.
低压气相CVD制备六方金刚石薄膜及其鉴定[J]
.科学通报,1993,38(17):1561-1564.
被引量:1
二级引证文献
1
1
张迎光,白雪峰,张洪林,刘宁生.
化学气相沉积技术的进展[J]
.中国科技信息,2005(12C):82-82.
被引量:12
1
钱海洋,吴彬.
直流电弧等离子体双温度化学非平衡数值模拟[J]
.核聚变与等离子体物理,2011,31(2):186-192.
被引量:2
2
汪浩,王秀芬,郭林,朱鹤孙.
化学气相沉积金刚石薄膜的介电性能研究(英文)[J]
.Journal of Beijing Institute of Technology,1998,7(3):274-279.
3
李魁云.
解读“等电子体”[J]
.化学教学,2009(2):79-80.
被引量:1
4
汪浩,郭林,翟华嶂,朱鹤孙.
CVD金刚石薄膜的介电性能研究[J]
.功能材料,1999,30(2):202-203.
被引量:2
5
李雪飞.
直流电弧法合成立方氮化硼纳米晶体[J]
.吉林师范大学学报(自然科学版),2006,27(3):79-80.
6
李雪飞,刘天浩.
直流电弧法合成B_4C的研究[J]
.吉林师范大学学报(自然科学版),2007,28(2):47-48.
7
王城,崔海超,李皖皖,廖梦然,夏维珞,夏维东.
Production of a large area diffuse arc plasma with multiple cathode[J]
.Chinese Physics B,2017,26(2):320-326.
被引量:2
8
黎林村,夏维东,周鹤凌,马强.
Three-Dimensional Modelling of a DC Arc in Cross-Flow[J]
.Plasma Science and Technology,2007,9(5):564-569.
9
伏军胜,张仁惠,李继宏.
Prodigy DC Arc直流电弧光谱法测定纯钽及钽制品中铁元素[J]
.材料开发与应用,2016,31(2):5-9.
被引量:2
10
孙维民,廉舒,徐菁华,国安邦,赵骞.
直流电弧等离子体法制备纳米粒子实验装置研究[J]
.大学物理实验,2009,22(2):42-45.
被引量:3
科学通报
1992年 第18期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部