关于发展我国半导体设备制造业的思考

我国半导体设备制造业的基本情况半导体专用设备是支撑半导体和集成电路产业健康发展的基础,是半导体生产工艺的高度物化,是现代高新技术应用的集中体现,被誉为信息产业心脏的集成电路产业。