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先进IC封装工艺设备及关键技术 被引量:4

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摘要 本文综述了封装工艺发展历程及趋势,对后封装设备以及设备制造核心关键技术进行了分析。
出处 《集成电路应用》 2003年第8期11-15,共5页 Application of IC
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