半导体设备国产化的一些想法——中国唯一具有自主知识产权的半导体设备开发的启示

国产化的必要性1.1 微电子行业重要性现代社会已进入以微电子技术为核心的信息时代,世界各国均已意识到微电子业的高速、健康发展对工业界的深刻影响。信息产业作为新型产业,经过20世纪后期的迅速发展,现在已成为世界上最强大的一个行业,并将在21世纪加速发展。因此需要微电子行业提供更加坚实的基础和更加完美的条件。半导体制造业是微电子产业的基础和重要支柱之一。