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6英寸内圆切片机简介
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摘要
研发思路近年来,我国电子产业增长速度很快,集成电路市场以每年25%左右的增长速度发展。而集成电路销售额仅占国内市场需求总额的1/5左右,绝大部分依赖进口。在半导体总资本投资率中,设备行业约占30%~40%。
作者
张国彪
机构地区
西北机器厂半导体设备厂
出处
《集成电路应用》
2003年第8期57-58,共2页
Application of IC
关键词
6英寸内圆切片机
技术参数
结构原理
用途
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
2003年 第8期
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