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6英寸内圆切片机简介

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摘要 研发思路近年来,我国电子产业增长速度很快,集成电路市场以每年25%左右的增长速度发展。而集成电路销售额仅占国内市场需求总额的1/5左右,绝大部分依赖进口。在半导体总资本投资率中,设备行业约占30%~40%。
作者 张国彪
出处 《集成电路应用》 2003年第8期57-58,共2页 Application of IC
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