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生产六氯乙硅烷的方法
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职称材料
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出处
《化工科技市场》
CAS
2003年第3期62-62,共1页
Chemical Technology Market
关键词
六氯乙硅烷
三菱综合材料多晶硅股份有限公司
日本
氯硅烷
氢气
多晶硅
分类号
TQ264.11 [化学工程—有机化工]
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化工科技市场
2003年 第3期
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