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现场供气设备——TCN640制氮机介绍
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摘要
本文对安装于深圳赛意法微电子有限公司的TCN640制氮机进行简介。该设备由AIR LIQUIDE JAPAN Ltd.(日本液空公司)总体设计、制造,国内技术人员消化改进工艺,具有设备配置先进,安装简单,安全高效,能耗低等优点,其产品氮气的纯度已超过了高纯氮的技术指标。
作者
李华
机构地区
广州市粤港气体工业有限公司
出处
《工厂动力》
2003年第2期30-34,共5页
关键词
供气设备
TCN640
制氮机
技术改进
经济效益
分类号
TQ116.1 [化学工程—无机化工]
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