摘要
综述了微机电系统的特征及其应用前景。介绍了微机电系统陀螺的结构、原理及其在武器系统中的应用和研究开发动向。
出处
《飞航导弹》
2003年第8期54-58,共5页
AERODYNAMIC MISSILE JOURNAL
同被引文献16
-
1陈永,焦继伟,王惠泉,金仲和,张颖,熊斌,李昕欣,王跃林.大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J].Journal of Semiconductors,2005,26(1):148-152. 被引量：6
-
2朴林华,吕耀杰,王义,张福学.二维压电射流陀螺的研究[J].电子元件与材料,2007,26(2):14-16. 被引量：1
-
3ZHOU J.YAN G,ZHU Y.Design and fabrication of a micro-fluid angular rate sensor[J].19th IEEE Conf.on MEMS,2006,22(4):634-637.
-
4DAO D V,DAU V T,SHIOZAWA T.A dual axis gas gyroscope based on convective and thermo-resistive effects in silicon with low thermal-induced stress sensing element[J].19th IEEE Conf.on MEMS,2006,21(7):594-597.
-
5TAKEMURA Kenjiro,YOKOTA Shinichi.SUZUKI Mamoru.A liquid rate gyroscope using electro-Conjugate fluid[J].Sensors and Actuators,2009,A 149:173-179.
-
6魏宸官.电流变技术[M].北京:北京理工大学出版社,2000..
-
7Said E A, Tayfun A. Symmetrical and Decoupled Nickel Microgyroscope on Insulating Substrate[J]. Sensors and Actuators A, 2004. 336-350.
-
8Mochida Yoichi,Tamura Masaya, Ohwada Kuniki. Micromachined Vibrating Rate Gyroscope with Independent Beams for the Drive and Detection Modes[J]. Sensors and Actuators, A:Physical, 2000, 80(2): 170-178
-
9Jeong Chihwan, Seok Seonho, Lee Byeungleul, Kim Hyeonched,Chun Kukjin. A Study on Resonant Frequency and Q Factor Tunings for MEMS Vibratory Gyroscopes[J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2004,14(11) : 1530-1536
-
10Xiong Bin of MIT,Che Lufeng, Wang Yuelin. A Novel Bulk Micromachined Gyroscope with Slots Structure Working at Atrmophere[J].Sensors and Actuators, A: Physical, 2003,107(2) : 137-145
引证文献2
-
1刘晓为,陈宏,陈伟平,陆学斌,韩天.常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性[J].传感技术学报,2006,19(05B):2268-2271. 被引量：6
-
2秦奎,张卫平,陈文元.MEMS流体陀螺的研究进展[J].现代电子技术,2010,33(10):172-174.
二级引证文献6
-
1陈伟平,王浩,刘骁,韩天,陈宏.双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真[J].传感技术学报,2008,21(2):261-264. 被引量：3
-
2陆学斌,刘晓为,陈伟平,陈宏,韩天.振动式微机械陀螺的带宽特性分析[J].传感技术学报,2008,21(2):337-340. 被引量：5
-
3李明,史守峡.某力矩反馈速率陀螺仪性能的试验研究[J].现代电子技术,2009,32(2):91-94. 被引量：1
-
4陈伟平,陈宏,郭玉刚,许鹏,刘晓为.一种全对称微机械陀螺的双级解耦机构特性[J].纳米技术与精密工程,2009,7(3):239-244. 被引量：4
-
5李孟委,刘俊,刘韶轩,杜康,石云波.基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化[J].测试技术学报,2009,23(6):519-525. 被引量：2
-
6李宇鹏,王志飞,刘来超.音叉式全解耦微机电陀螺的设计与仿真[J].机械设计,2016,33(8):33-37. 被引量：1
-
1周兆英,叶雄英,唐飞,朱俊华,汤扬华,卜敏强.微机电系统技术[J].电子产品世界,1999,6(5):19-21. 被引量：6
-
2樊重道,陈夏娜.高清晰度电视显示器的开发动向[J].国际广播电视技术,1992,6(3):49-51.
-
3倪文乞.通用变频器的开发动向及展望[J].中小型电机,1993,20(6):57-59.
-
4徐炽焕.日本聚合物光纤的开发动向[J].光纤光缆传输技术,1997(1):9-12.
-
5佳仲.日本液晶显示器开发动向[J].全球科技经济瞭望,1994,9(1):28-30.
-
6叶孔仪.高清晰度电视显示的开发动向[J].电影技术,1992(2).
-
7戴长飞.日本液晶显示器开发动向[J].化工新型材料,1993,21(12):1-6.
-
8沈爱民.日本显示器件的最新开发动向[J].电视工业（科技版）,1991(2):24-27.
-
9李桂林.数字投影机市场和光源的开发动向[J].彩色显像管,2001(2):43-46.
-
10张汉三.微波晶体管的开发动向[J].半导体情报,1990(1):29-34.
