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膜—基界面结合性能激光划痕检测方法技术优势分析 被引量:6

Study on Laser Scratching Technique for Testing of Interfacial Strength of Film-Substrate System
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摘要 提出红外激光划痕准静态测量新方法。在分析传统划痕试验法和激光检测技术研究与应用现状的基础上 ,进行了激光划痕法的技术优势分析。 A new technique of infrared laser scratching technique is proposed. Its technological advantage is studied based on analyzing the state of the research and application of traditional scratching technique and laser testing technique.
出处 《工具技术》 北大核心 2003年第9期10-13,共4页 Tool Engineering
基金 国家自然科学基金赞助项目 (项目编号 :5 0 2 75 0 69) 江苏大学微纳米科学技术研究中心开放基金资助项目(项目编号 :60 10 80 0 6)
关键词 膜-基界面结合性能 划痕试验法 激光层裂法 激光划痕法 技术优势分析 laser, film, interfacial strength character, scratching technique, laser laminating technique
  • 相关文献

参考文献17

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二级参考文献7

共引文献47

同被引文献89

引证文献6

二级引证文献15

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