新的CVD装置与处理

一、前言金属表面CVD法涂覆的硬化技术,应用范围日益广泛而引起人们的重视。 CVD法是化学气相沉积的略称,是化学气相蒸镀法的最典型的工艺,是颇有实用价值的新技术。CVD法是将被镀材料置于1000℃左右的高温炉内,让混合气体接触镀覆材料的表面,发生化学反应。