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单次扫描技术确定金属薄膜的厚度和介电常数 被引量：2

Single-Scan Technigue for Determination of the Thickness and Optical Constants of Thin Metal Films
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摘要 该文提出了一种改进的衰减全反射结构,并用单个激光光束同时激发了表面等离子波和修正的长程表面等离子波,根据反射率曲线中这两个等离子波的吸收峰,可直接确定结构中金属薄膜的厚度和介电常数. A novel method with single-wavelength light is proposed to determine the optical constants and the thickness of a thin metal film. It bases on an improved Attenuated Total Reflection geometry in which a conventional surface plasmon and a modified long-range surface plasmon can be exicted at the same time.
作者 曹庄琪 沈启舜 丁渊 桑明煌 袁文 肖平平 徐红萍
机构地区 上海交通大学物理系 江西师范大学物理与通信电子学院
出处 《江西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2003年第3期189-192,共4页 Journal of Jiangxi Normal University(Natural Science Edition)
基金 国家自然科学基金重点项目(60237010)
关键词 金属薄膜 厚度 介电常数 单次扫描技术 表面等离子波 衰减全反射结构 测量原理 surface plasmon wave attenuated total reflection
分类号 O484.42 [理学—固体物理] O536 [理学—等离子体物理]
  • 相关文献

参考文献8

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引证文献2

二级引证文献1

江西师范大学学报（自然科学版）
2003年 第3期

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