激光微细加工中微小曝光区温度测量系统的改进

The Improvement of the Temperature Measurement System for the Small Exposed Region in Laser Assisted Microprocessing

在半导体的激光微细加工技术里 ,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量。文献 [6]报道的温度测量系统基本满足这一要求 ,但在实际使用过程中还存在一些需要克服的困难。首先是温度分辨率和温度测量范围不能同时满足使用要求 ,其次是不能进行温度分布的准确测量和最高温度点的准确定位。本文提出了对原有系统的改进方法 ,改进后的计算机温度测量系统较好的解决了原系统存在的这些问题。