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磁控镀膜玻璃脱膜现象探析被引量：1

Explanation on film spalling from magnetic-controlled sputtering glass coating

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摘要针对导致磁控镀膜玻璃脱膜的几个主要影响因素进行逐一分析,并找出解决这些问题的办法和途径。

作者李正华

机构地区河南省振华玻璃厂

出处《玻璃》 2003年第4期59-60,共2页 Glass

关键词磁控镀膜玻璃脱膜原片水质真空度清洗机工艺气体靶材

分类号 TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]

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玻璃

2003年第4期

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