KLA-Tencor宣布推出针对光学和EUV空白光罩的全新FlashScan产品线

KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*检测产品线。从而公司进入专用空白光罩的检验市场。光罩坯件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用于工艺开发和批量生产过程中的缺陷检测,此外,光罩制造商('光罩厂')为了进行光罩原料检测,设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。