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高纯氧化铝陶瓷材料真空出气性能测试 被引量:5

Study on the vacuum degassing behavior of 99% alumina ceramic
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摘要 通过一系列实验测试了致密型高纯氧化铝陶瓷 (99瓷 )的出气速率 ,考察了材质、不同预处理方法等因素对其出气性能的影响 。 The results of the experiments and calculation of the outgassing rate for the 99% alumina ceramic are shown. The influence of the ceramic components, pretreatment on outgassing is observed. The outgases and their proportions are analyzed through a series of experiments.
出处 《真空》 CAS 北大核心 2003年第5期37-40,共4页 Vacuum
关键词 氧化铝陶瓷材料 真空出气性能 测试 99瓷 温度 压强 质谱分析 真空室 alumina ceramic outgassing rate mass spectrumetry analysis
  • 相关文献

参考文献4

  • 1查良镇,朱秀珍,陈旭,余海棠.四极质谱计校准和应用研究系统[J].真空科学与技术,1993,13(6):405-412. 被引量:17
  • 2Elsey R. J, Outgassing of vacuum materials-Ⅰ [J].Vacuum,1975.25(7).
  • 3Elsey R. J, Outgassing of vacuum materials-Ⅱ [J].Vacuum, 1975,25(8).
  • 4Weissler G. L, Methods of experimental physics:volume 14, vacuum physics and technology[M]. 1979.

共引文献16

同被引文献38

引证文献5

二级引证文献3

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