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双流体喷射洗净技术

Application of Double-liquid Jet Cleaning Technology

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摘要为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.

作者王青

机构地区保定爱尔发清洗装置有限公司

出处《洗净技术》 2003年第08M期24-25,共2页

关键词双流体喷射洗净技术 RCA洗净技术技术原理硅片

分类号 TN305.97 [电子电信—物理电子学]

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洗净技术

2003年第08M期

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