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双流体喷射洗净技术
Application of Double-liquid Jet Cleaning Technology
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摘要
为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.
作者
王青
机构地区
保定爱尔发清洗装置有限公司
出处
《洗净技术》
2003年第08M期24-25,共2页
关键词
双流体喷射洗净技术
RCA洗净技术
技术原理
硅片
分类号
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
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洗净技术
2003年 第08M期
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