加快发展超纯化学试剂
被引量:2
Accelerate the Development of Super-purification Chemical Agent
摘要
近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
同被引文献5
-
1许振良,魏永明,郎万中,杨晓天,沈丽萍,汤慧,吴家白,惠绍樑.超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究[J].化学试剂,2005,27(10):633-636. 被引量:8
-
2何禄宽.超净高纯试剂的质量要求和检测要求[A]..电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C].苏州:出版,2004.122-124.
-
3吴雄杰,裘霞敏.我国电子化学品产业的发展现状及前景[J].浙江化工,2003,34(6):25-27. 被引量:5
-
4贾楷.微电子化学试剂[J].增塑剂,2003(4):30-35. 被引量:2
-
5袁桐,吴坚.电子信息基础产品用电子化工材料(摘选)[J].精细化工原料及中间体,2004(3):2-5. 被引量:2
引证文献2
-
1许振良,魏永明,郎万中,杨晓天,沈丽萍,汤慧,吴家白,惠绍樑.超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究[J].化学试剂,2005,27(10):633-636. 被引量:8
-
2周继业,白秀君,朱洁洁,汪永超.弱碱性阴离子交换树脂在电子级过氧化氢制备过程中的应用[J].浙江化工,2016,47(10):23-25. 被引量:2
二级引证文献10
-
1殷宪国.电子级磷酸制备中杂质的吸附与膜分离技术进展[J].硫磷设计与粉体工程,2010(5):11-13. 被引量:5
-
2刘飞,刘海,陶志,杨正光.电子级过氧化氢的纯化技术及其发展现状[J].磷肥与复肥,2012,27(1):10-12. 被引量:3
-
3陈勇.可持续发展的绿色产品——双氧水的用途及纯化研究[J].川化,2014(1):38-41. 被引量:6
-
4于剑昆.电子工业用超高纯过氧化氢的制备工艺[J].化学推进剂与高分子材料,2014,12(2):1-24. 被引量:2
-
5周继业,白秀君,朱洁洁,汪永超.弱碱性阴离子交换树脂在电子级过氧化氢制备过程中的应用[J].浙江化工,2016,47(10):23-25. 被引量:2
-
6胡长诚.国内外蒽醌法制过氧化氢工艺技术研发新进展[J].化学推进剂与高分子材料,2017,15(2):1-13. 被引量:13
-
7柴春玲,郭晓冉,沈冲,赵晓东.电子级过氧化氢水溶液制备技术进展[J].化学推进剂与高分子材料,2017,15(3):42-45.
-
8向航.生产超净高纯过氧化氢的净化技术进展[J].化工管理,2014(33):213-215.
-
9白秀君,汤磊鹏,朱洁洁,周继业,汪永超.ICP-MS测定电子级过氧化氢中的元素含量[J].浙江化工,2019,50(12):47-49. 被引量:2
-
10刘俊芳.高纯过氧化氢生产中有机物杂质的净化技术解析[J].当代化工研究,2020,0(7):52-53. 被引量:1