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加快发展超纯化学试剂 被引量:2

Accelerate the Development of Super-purification Chemical Agent
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摘要 近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头.
作者 吴镇堃
出处 《洗净技术》 2003年第08M期41-43,共3页
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