摘要
对一种适用于硅微机械谐振器件测量的光纤位移传感器进行了研究 ,该光纤位移传感器探头采用了单根光纤探测形式和光纤“X”耦合器结构 ,在微弱光电传感信号处理上采用了“锁相放大器”提取方案 ,可以实现对静态位移和振动位移两种场合进行测量 对该传感器的实测结果表明 :该传感器测量范围为 0～ 10 0 μm ,测量灵敏度 3 95mV/μm ,精度等级优于 1% ,重复性优于0 5 % 为作为应用实例 ,运用该传感系统对一种微悬臂梁硅微谐振器件进行了测量 ,成功提取了硅微谐振器件的微弱谐振信号 ,证实了该传感器可以实现对硅微谐振器件的非接触和无损测量 ,并具有非接触、易调试。
With single optic-fiber sensing head and optic-fiber 'X' coupling,an optic-fiber sensor suitable for the deflection measurement of silicon micro-resonators is developed.Utilizing the lock-in amplifier circuit to sensing the weak signals,this sensor can be applied in measurements of static deflection and resonant deflection.In the CM(46measuring range from 0～100 μm,the sensitivity,precision,and repetitiveness of the optic-fiber sensor areCM) 3.95 mV/μm,1% and 0.5% respectively verified by experiment.The advantages of this sensor are non-contact,non-destructive,more sensitive and easy to operate.Its characteristics are verified by application in detecting weak signals of silicon microcatilever resonator in this paper.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1216-1219,共4页
Acta Photonica Sinica
基金
陕西省教委专项科研计划 ( 0 2JK15 5 )
中国博士后基金( 2 0 0 2 0 32 2 2 5 )
中国科学院"百人计划"基金
国家自然科学基金( 6 9776 0 37)资助项目
关键词
硅微谐振器件
光纤位移传感器
光纤“X”耦合器
锁相放大器
Silicon micromechanical resonator
Optic-fiber deflection sensor
Optic-fiber 'X' coupler
Lock-in Amplifier
