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电容式硅微结构加速度计动态特性的研究 被引量：2

A Method for the Test of Dynamic Characteristics of Capacitance Silicon Microstructure Accelerometers
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摘要 为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足 ,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法 ,对这种方法进行了理论分析和试验研究 ,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线 ,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较 ,结果表明其误差小于 1.9%。 An electrostatic method is proposed to determine the dynamic characteristics of capacitance accelerometers. Theoretical and experimental studies are carried out by the method. A curve of the dynamic characteristics of the accelerometer is given and compared with the results obtained from an ordinary vibro-bench.
作者 洪连进 陈洪娟
机构地区 哈尔滨工程大学水声工程学院
出处 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 2003年第3期220-222,共3页 Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis
关键词 电容式硅微结构加速度计 动态测试 静电力 试验研究 振动台 测量误差 microstructure accelerometer dynamic characteristic electrostatic method vibro-bench
分类号 TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献1

  • 1汪凤泉，电子设备振动与冲击手册，1998年

共引文献1

同被引文献17

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引证文献2

二级引证文献4

振动．测试与诊断
2003年 第3期

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