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通过Al_2Cl_ 3与NH_3的气相反应合成AlN微细粉末

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摘要前言AlN 烧结体由于具有优越的耐侵蚀性,耐热性,高的热传导性和电绝缘性,因此在半导体放热基板和化合物半导体制造用的坩埚方面得到实用。AlN 粉末的制造方法,从前通过金属铝(Al)

作者张肇富

出处《江苏陶瓷》 CAS 1989年第3期41-47,共7页 Jiangsu Ceramics

关键词 Al2Cl3 NH3 ALN 气相反应陶瓷

分类号 TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]

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江苏陶瓷

1989年第3期

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