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确认姿态的双向微型加速度计

Double direction minisize accelerometer used to confirm situation
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摘要 本文介绍一种微型的确认姿态的双向加速度计,这种微型的确认姿态的双向加速度计是一种玻璃-硅-玻璃结构。实验证明了这种传感器的有效性和实用性。
出处 《中国测试技术》 2003年第5期36-36,29,共2页 CHINA MEASUREMENT & TESTING TECHNOLOGY
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参考文献1

  • 1Van kampen R P,Wolffenbuttel R F.Modeling the mechanical behavior of bulk micro-machined silicon accelerometers [J]. Sensor and Actuators A,1998,64:85-92.

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