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离子辅助沉积氧化物薄膜的光学特性 被引量：3

OPTICAL PROPERTIES OF OXIDE COATINGS PREPARED BY ION ASSISTED DEPOSITION
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摘要 考察了不同离子、离子能量、离子束流密度等制备参数对离子辅助沉积的TiO_2、ZrO_2和SiO_2薄膜的折射率、吸收和激光损伤阈值等光学特性的影响。 Effects of ion energy, ion current intensity and ion species on refractive indices, optical absorptance and laser - induced damage thresholds of TiO2 , ZrO2 , SiO2 coatings deposited using ion assisted deposition were investigated.
作者 汤雪飞 范正修
机构地区 中国科学院上海光机所
出处 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1992年第2期245-250,共6页 High Power Laser and Particle Beams
关键词 薄膜 离子辅助沉积 光学特性 coating, ion assisted deposition, optical property
分类号 O484.41 [理学—固体物理]
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同被引文献20

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引证文献3

二级引证文献16

强激光与粒子束
1992年 第2期

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