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电磁微电机的设计与制造技术 被引量:2

Design, Fabrication and Applications of Electromagnetic Micromotor
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摘要 介绍了上海交通大学电磁微电机的研究、设计、制造技术及应用现状。 Research and development achievements on electromagnetic micromotor by Shanghai Jiao Tong University are summarized in the paper, including its structural design, electrical control and microfabrication techniques.
出处 《信息与电子工程》 2003年第3期71-74,共4页 information and electronic engineering
基金 国防科技基础研究基金资助项目(41305010301)
关键词 电磁微电机 气隙磁通 定子 控制电路 MEMS 微细制造 electric engineering electromagnetic micromotor survey MEMS planar coil
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