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湿度检测元件

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出处 《国外传感技术》 2003年第4期143-147,共5页
关键词 电容式 湿度检测元件 阀作用金属基体 电介质阳极氧化膜 半导体金属氧化物
分类号 TH837 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献
国外传感技术
2003年 第4期

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