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攀升良品率学习曲线
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摘要
伴随着半导体生产的复杂程度和工艺要求的进一步发展以及芯片制造工厂投资的步步攀升,良品率提高在半导体生产过程中越来越得到重视。本文就从这种趋势的引领下,对良品率提高面临的机会和挑战进行简单的分析。良品率(或称成品率)。
作者
尹娟毅
李振林
机构地区
摩托罗拉MOS
出处
《中国集成电路》
2003年第53期62-64,共3页
China lntegrated Circuit
关键词
半导体生产工艺
良品率
物理缺陷
缺陷检查
ITRS
分类号
F416.63 [经济管理—产业经济]
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中国集成电路
2003年 第53期
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