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纳米集成电路大生产中新工艺技术现状及发展趋势 被引量:1

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摘要 我国经济呈现出良好的发展趋势,进一步促进科学技术得以不断加快发展步伐,继而带动微电子行业的快速发展,纳米集成电路是当前应用范围最广,也是效果最好的一种电路传输形式。从目前情况分析,集成电路中应用新技术对其长远发展来说既是机遇,同时也是挑战,文章着重阐述了微纳电子产业发展情况,并论述现阶段国内集成电路产业技术研究现状,最后论述了纳米集成电路未来发展趋势。
出处 《同行》 2016年第12期5-5,共1页
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参考文献5

二级参考文献31

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