自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用被引量：1

Off-Axes X-ray Technology--Creating A Better View of Semi-conductor Manufacture

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摘要对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势。 This article gives detailed introduction of various X-ray inspection technologies that are used by se mi-conductor manufacturing process,especially″off-axis″technology and its advantages.

作者 Eckhard Sperschneider

机构地区科电工程有限公司--MACROTRON科学工程公司

出处《电子工业专用设备》 2003年第5期27-31,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词全旋倾斜X射线技术 X射线透视检测技术三维体层X射线摄像技术机算机处理层析X射线成像通用分层X射线成像数字层析合成成像技术 Off-axis x-ray technology Transmission Technology 3D X-ray Slice Techniques Computed Tomogra phy Conventional Laminography Digital Tomosynthesis.

分类号 TN605 [电子电信—电路与系统]

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