期刊文献+

由集成电路成品率确定空气洁净度级别的理论方法

Theoretical method for determining cleanliness class from IC finished product rate
下载PDF
导出
摘要 将笔者1981年提出的方法加以补充,对经典沉降公式进行了修正,得出了最低成 品率的计算公式及由不同集成度的集成电路成品率求洁净度级别的方法。 Replenishes the theoretical method proposed by the author in 1981 and revises the classic depositing formula. Gives the calculation formula of minimum finished product rate. Presents a method to determine cleanliness class by finished prroduct rate of IC at various integrated levels.
作者 许钟麟
出处 《暖通空调》 北大核心 2003年第5期24-27,共4页 Heating Ventilating & Air Conditioning
关键词 集成电路 成品率 空气洁净度 洁净度级别 integrated circuit, finished product rate, cleanliness class
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献3

  • 1集成电路生产中洁净室系统时主要趋向. 严德隆.
  • 2对90年代我国洁净技术进一步发展的看法.严德隆
  • 3洁净级别预测.王唯国,王毅勃.

共引文献21

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部