期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

一种基于MEMS技术的微变电容 被引量：2

A Micro-Variable Capacitor Based on MEMS Technology
下载PDF
导出
摘要 　通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型。为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性。 With the improvement of the touchmode capacitive pressuresensor,a microvariable capacitor based on MEMS technology is presented In order to define the nonlinear relationship between the applied driving voltage and the capacitance variation, an effective method based on finite element analysis (FEA)is proposed Processing steps are designed, and the feasibility of the process is elaborated
作者 卞剑涛 程未 冯勇建 颜黄苹
机构地区 厦门大学机电工程系
出处 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期453-455,共3页 Microelectronics
关键词 MEMS 微变电容 电容压力传感器 有限元分析 工艺流程 工作原理 MEMS Micro-variable capacitor Capacitive pressure sensor Finite element analysis
分类号 TM53 [电气工程—电器]
  • 相关文献

参考文献3

  • 1斯迈思W R 戴世强[译].静电学和电动力学[M].北京:科学出版社,1982.45-46.
  • 2许金海,颜黄萍,冯勇建.基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型[J].传感器技术,2000,19(6):18-21. 被引量：6
  • 3Meng G-Q, Ko W H. Modeling of circular diaphragm and spreadsheet solution programming ior touch mode capacitive sensors [J]. Sensors and Actuators, 1999, 75(1): 45-52.

二级参考文献5

  • 1庆宝 宿昌厚.超大规模集成电路设计技术-从电路到芯片[M].北京:电子工业出版社,1996.104-109.
  • 2肖来元，弹性力学理论集成与学习方法，1997年，186页
  • 3Ko W H，Technical Digest Solid State Sensor and Actuator Workshap，1996年，244页
  • 4庆宝，超大规模集成电路设计技术.从电路到芯片，1996年，104页
  • 5徐秉业，应用弹塑性力学，1995年，335页

共引文献5

同被引文献19

  • 1Zou J,Liu C,Schutt-Aine J,et al.Development of A Wide Tuning Capacitor for Wireless Communications Systems [C]//Proc IEDM'00 Tech Digest.Washington DC,USA:IEEE,2000:403-406.
  • 2Lie D Y C,Yuan X,Larson L E,et al.Phase Noise Analysis of Fully-integrated Digitally-Tuned Wideband Si/SiGe BiCMOS VCOs[C]//Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting.Los Angeles,USA:IEEE,2002:65-68.
  • 3Stover H L,Leedy H M,Bryan R P,et al.High-performance Millimeter-Wave Silicon Varactors[J].Electron Devices Meeting,International,1972,18:174-174.
  • 4Yao J.RF MEMS from A Device Perspective [J].J Micromech Microeng,2000,10:9-38.
  • 5Dec A,Suyama K.Micromachined Electromechanically Tunable Capacitors and Their Applications to RF ICs [J].IEEE Trans Microwave Theory Tech,1998,46(12):2587-2595.
  • 6Dec A,Suyama K.Microwave MEMS-Based Voltage-Controlled Oscillators [J].IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques,2000,48:1943-1949.
  • 7Zou J,Liu C,Schutt-Aine J,et al.Development of Wide Tuning Range MEMS Tunable Capacitor for Wireless Communication Systems [C]//Tech Digest,International Electron Devices Meeting,San Francisco,USA:IEEE,2000:403-406.
  • 8Feng Z,Zhang H,Zhang W,et al.MEMS-Based Variable Capacitor for Millimeter-Wave Applications [C] //Tech.Digest,Solid-State Sensors and Actuators Workshop,South Carolina,USA:IEEE,2000:255-258.
  • 9Huang J M,Liew K M,Wong C H,et al.Mechanical Design and Optimization of A Capacitive Micromachined Switch [J].Sensors and Actuators:A Physical,2001,93(3):273-285.
  • 10Dec A,Suyama K.Micromachined Varactor with a Wide Tuning Range [J].Electron Lett,1997,33(11):922-924.

引证文献2

二级引证文献2

微电子学
2003年 第5期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部