用于3D-ROM的Si薄膜二极管技术

3D-ROM存储器 在当今世界,微电子技术是发展最为迅猛的一门科学。微电子技术发展的目标是不断提高集成系统的性能和性能价格比,因此便要求提高芯片的集成度,降低成本。这是不断缩小半导体器件特征尺寸的动力源泉。Intel公司创始人之一的Gordon E.Moore 1965年预言,微电子器件的集成度每隔三年就会增加4倍。近四十年来微电子的发展状况证实了摩尔定律的准确性。