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MEMS的应用及发展前景 被引量:1

Application and Prospects of MEMS
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摘要 MEMS是当今迅速发展的一门新兴学科。本文在对MEMS技术进行概述的基础上,列举了MEMS技术的应用,介绍了MEMS技术的发展前景。 To study the MEMS technology and promote its development concerns whether China can win its relevant status in the second run of the micro - electronic industry. The paper enumerates the application of the MEMS technology and presents its prospects from the summarization of the MEMS technology.
出处 《云南电大学报》 2003年第3期61-62,共2页 Journal of Yunnan Rty University
关键词 MEMS 微机械系统 微电子技术 微传感器 微执行器 信号处理 电路 电源 中国 MEMS micro - electronic technology micro - mechanical system
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参考文献2

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