超精密加工中的精密定位技术

随着精密机床、仪器、光学装置和集成电路等迅速向高精度化发展,相应地对其制造中的精密定位技术提出了越来越高的要求。例如,在超大规模集成电路制造装置中,要求0.1μm以上的定位精度,它的定位水平,对整个装置的性能有极大的影响。目前已经实现了0.025μm的精密定位水平。