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金刚石气相沉积硬膜在工具表面的应用与发展
被引量：
1
Application and Progress of CVD Hard Film Deposited onTool Surface
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摘要
本文综述了PVD CVD PCVD涂层在工具表面应用 ,比较几种沉积工艺的应用特点 ,分析了影响CVD PCVD涂层与基体附着力的影响因素及研究现状。详细介绍了CVD金刚石涂层的应用、沉积工艺、抛光工艺以及相关的基体前处理工艺。展望了PVD CVD PCVD涂层在工具表面应用、发展的研究方向。
作者
王伊卿
吕反修
机构地区
北京科技大学材料学院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2002年第1期29-34,共6页
Diamond & Abrasives Engineering
关键词
工具
涂层
金刚石膜
PVD
CVD
PCVD
分类号
TG7 [金属学及工艺—刀具与模具]
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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